二维线纹工作基准实验室

实验室负责研究和建立国家二维线纹量值计量标准。建立了可直接溯源至米定义的国家二维线纹工作基准和二维光学标准器（掩膜板）量值溯源体系，测量范围达到300mm×300mm，测量不确定度最高可达100纳米（1×10-7米），达到国际先进水平。该工作基准的建立，成功解决了我国集成电路、液晶显示制造中的超精密掩膜测量难题，改变了我国作为全球最大的集成电路市场、量值溯源至国外并受制于人的现状。实验室积极开展技术服务和科技成果转化，为国内制造超大液晶屏掩膜板的最大厂家深圳清溢有限公司解决量值溯源；为航天制造企业研制卫星用的标准件专用测试设备，保障了*工业对精密测量的需求。